EP57：【半導體設備/材料】半導體氣體控制有學問，壓電技術有看頭 ft. 飛斯妥技術總監 盧昭序

半導體設備內的Chamber（腔室）內的氣體控制其實是一門既基礎又重要的學問，晶圓良率表現好壞與否，各類氣體控制與動力是相當重要的關鍵。然而，在設備內的閥門控制上，除了流量、壓力等數字上的表現，懸浮微粒的多寡與否，也會對晶圓良率帶來相當大的影響。因此，如何又快又準地控制閥門，就成了相當重要的關鍵。本集重點：1. 台美韓半導體業者皆需壓電技術精準控制閥門2. 不僅用在閥門，先進封裝場域也適用3. 收購AI技術公司，為半導體設備零組件導入預測性維護收聽《姚姚Tech666》：https://tinyurl.com/yt7pqknp更多科技趨勢https://pse.is/4drbp9留言心得回饋 https://pse.is/4ee2ft異業合作洽詢[email protected]